Präzise Analyse des Ausgasverhaltens Ihrer Materialien unter Hochvakuum- und Temperatureinfluss – für saubere Prozesse und zuverlässige Bauteile in anspruchsvollen Anwendungen.

Das IFW Dresden bietet die Untersuchung des Ausgasverhaltens von Materialien in einer 10-Liter-UHV-Kammer mit Massenspektrometeranbindung. Ab einem Druck von 1 × 10⁻⁵ mbar können Gasmoleküle detektiert und durch Vergleich mit dem bekannten Kammergrundspektrum eindeutig dem Probenmaterial zugeordnet werden. Durch den beheizbaren Probenhalter lässt sich das Ausgasverhalten auch bei definierten Temperaturen bis 450 °C analysieren – ideal für die Materialqualifizierung in der Vakuumtechnik, Halbleiterproduktion, Raumfahrt und Präzisionsfertigung.



Ihre Vorteile



• Detaillierte Restgasanalyse bis Massezahl 200

• Hochvakuum-Bedingungen bis 8 × 10⁻⁸ mbar

• Temperaturgesteuerte Messungen für praxisnahe Simulation

• Schnelle Probenbestückung über 100 mm Schnellverschlusstür

• Verlässliche Differenzanalyse durch bekanntes Kammergrundspektrum



Methoden & Equipment



• UHV-Kammervolumen: 10 l

• Enddruck: ca. 8 × 10⁻⁸ mbar (ohne Schleusenkammer)

• Massenspektrometer: Analyse bis Massezahl 200

• Beheizbarer Probenhalter (55 × 55 mm)

• Temperaturregelung: stufenlos bis 450 °C



Anwendungsfelder

• Qualifizierung von Materialien für Vakuum- und Reinraumanwendungen

• Auswahl geeigneter Werkstoffe für Hochvakuumprozesse

• Analyse von Verunreinigungen und Kontaminationsquellen

• Optimierung von Bauteilen für Halbleiter-, Optik-, und Raumfahrttechnik